电子气体是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件、太阳能电池等电子工业出产不成短缺的原资料
，它们宽泛利用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺
。

半导体、尝试室等造作、科研产业对干净度的要求愈发严格
，对气源及气体管路的检测规格有了更高的要求
。

气体中的氧、水、总烃等杂质
，在出产过程中可能会以原子状态进入芯片结构中去
，影响芯片质量
。

H2O和晶片中的Si会产生化学反映
，出产二氧化硅
，影响晶片厚度
，因而对气体中的水分含量必须加以节造
。

半导体行业气体中的露点丈量是一个挑战
，以99.9999%的高纯氮气为例
，其水分含量低于1ppm
，也就是100万个气体分子中
， 不到1个水分子
。如此微量的水分子含量
， 对Moisture湿度传感器的活络度和正确性都是一个真正的考验
。在过往
，高精度的水分仪往往陪伴着高成本
，而随着金属氧化物陶瓷湿度传感器的开发
，在精度和价值上的选择不再是鱼和熊掌不能兼得的困境
。

能够丈量低至 -120 °Cdp
，在-60°Cdp时精度为±1°C
，对过程环境的变动能够急剧响应
。

金属氧化物陶瓷湿度传感器技术
，借鉴半导体领域的厚薄膜技术
，把整个传感器构建在牢固不变的陶瓷基座上
；诙嗫赘惺愣运肿拥奈
，通过感触水气分压得出（工况下）水露点值
。该吸湿活性层如同“眉山治”一样被夹在陶瓷基底上的两个导电层之间
，厚度仅不到一微米
，而顶部金箔层只允许水分子自由进入传感器
，且与多孔导电层相比更薄
。因而
，当周围环境的湿度产生变动的时辰
，传感器对湿度变动会有极度活络的反映
。它可能检测超高纯度气体中低至百万分之几的Moisture微量水分含量
。

水分的测试是利用纯度较高的N2对待侧管路进行长功夫的Purge（断根
，吹扫）
，将水气带离管路
，并在一端接上分析仪器
，直至仪器显示的含水量浓度达到测算尺度
。

压缩空气检测仪 Moisture水含量检测步骤：

（1）先将待测管路预吹4幼时以上（预吹功夫越长
，测试功夫越短）；

（2）将待测管路衔接至测试仪；

（3）打开电源
，起头测试
，直至读数降落到50ppb以下
。